アクセリス・テクノロジーズ（Axcelis Technologies, Inc.）は、半導体製造業界向けの製造装置の設計、製造、保守を世界的に手がける米国企業です。主な製品は、高電流・中電流イオン注入装置、高エネルギーイオン注入装置、半導体チップ製造に使われるキュアリング装置です。 同社は1995年に設立され、本社は米国マサチューセッツ州ビバリーにあります。2000年、イートン（Eaton Corporation）が半導体製造装置事業を分離し、アクセリス・テクノロジーズとして独立させました。 2012年12月4日、同社はドライストリップ事業から撤退し、Integra製品ラインの先進的な非酸化プロセス技術を含むドライストリップ関連の知的財産と技術をラムリサーチに売却すると発表しました。300mmドライストリップ製品の出荷は2013年8月まで継続されました。 2015年には、本社をセール・アンド・リースバック契約により売却しました。2025年10月、アクセリスとビーコ（Veeco）は、約44億ドル規模の株式交換による合併で合意しました。統合後の会社の持分は、アクセリス株主が約58%、ビーコ株主が約42%となる予定です。